真空等離子處理儀屬于電子工業(yè)的干法清洗，在一定的真空條件下，對氣體施加能量使其成為等離子狀態(tài)，等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等，通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。通過使用等離子體處理樣品表面從而實(shí)現(xiàn)表面清潔，表面改性，表面刻蝕，表面接枝的目的，最后將污染物轉(zhuǎn)化為氣態(tài)，并通過真空泵用連續(xù)氣流將其排出。

原裝強(qiáng)效電源：采用原裝高壓激勵(lì)電源電路技術(shù)，產(chǎn)生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果。

全面安全防護(hù)：溫度安全防護(hù)功能，過載防護(hù)功能，短路斷路報(bào)警防護(hù)功能，各種誤操作保護(hù)功能。

獨(dú)有的放電技術(shù)：特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置，確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。

密封性優(yōu)良的真空腔體設(shè)計(jì)：高真空度真空腔體設(shè)計(jì)及制造工藝，配置強(qiáng)力真空泵。

優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品部件：產(chǎn)品全部部件采用國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)部件，確保設(shè)備性能優(yōu)越。

超低清洗溫度：滿足不同場合溫度要求，不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。

精密數(shù)控加工：進(jìn)口精美CNC數(shù)控機(jī)床加工工藝，并配備進(jìn)口三坐標(biāo)測量儀進(jìn)行質(zhì)量監(jiān)控。

適用于形狀復(fù)雜樣品：清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品，包括內(nèi)孔內(nèi)壁，均勻清洗。

定制設(shè)計(jì) ：可定制40Khz、13.56Mhz、2.45Ghz三種頻率，電極數(shù)量可定制，腔體尺寸可定制。

• 

  航天研究所

• 

  醫(yī)療衛(wèi)生

• 

  生命科學(xué)

• 

  高校實(shí)驗(yàn)室